Автор: Александр Запевалин

ФИО автора: Запевалин Александр

Сайт автора: http://vk.com/id7667329

Статьи автора в журнале «Современная техника и технологии»

Запевалин А.И. Эффект запаздывания в плазмохимическом травлении кремния

№ 6 (34) Июнь 2014

Запевалин А.И. Обзор высоко-аспектных процессов травления кремния

№ 6 (34) Июнь 2014

Статьи автора в журнале «Современные научные исследования и инновации»

Запевалин А.И. Обзор газовой химии используемой для плазмохимического травления Si, SiO2 и Si3N4

Июнь, 2014

Запевалин А.И. Обзор газовой химии для сухого травления полупроводниковых соединений

Июнь, 2014