Статьи по ключевому слову «Bosch-процесс»

Статьи в журнале «Современная техника и технологии»

Запевалин А.И. Эффект запаздывания в плазмохимическом травлении кремния

№ 6 Июнь 2014

Запевалин А.И. Обзор высоко-аспектных процессов травления кремния

№ 6 Июнь 2014