h, мкм	HV0,05(кгс) H=f(h)
	1	2	3
10	1609	1552	1374
20	1511	1479	1559
30	1607	1485	1609
50	1572	1609	1499
70	1447	1441	1566
100	1479	1505	1512
200	1447		1492
Примечание: d=7,83 мкм

Таблица 2. Микротвердость, измеренная от впадины зуба к сердцевине по трем точкам

Таблица 3. Микротвердость, измеренная в сердцевине зуба (основании).

Таблица 4. Микротвердость, измеренная в сердцевине по трем точкам.

Рис. 1. Мелкомодульная червячная фреза. (Область применения: нарезание зубчатых колес механизмов наручных часов)

Рис. 2. Микрошлиф передней кромки твердосплавной мелкомодульной червячной фрезы
(увеличение х500).

Рис. 3. Микрошлиф передней кромки твердосплавной мелкомодульной червячной фрезы
(увеличение х200).

Следующим шагом определялась шероховатость задней поверхности вдоль режущей кромки на заготовке мелкомодульной твердосплавной червячной фрезы. В качестве оценки параметра шероховатости принимаю величину Rа, выражающееся следующим образом:

 (1) Или  (2)

где l – базовая длина; n – число выбранных точек профиля на базовой длине; – абсолютное отклонение профиля от средней линии в i-ой точке профиля.

Профиль задней поверхности модульной фрезы контролировали с помощью лазерного конфокального сканирующего микроскопа Olympus LEXT OLS – 3100 (Япония) с вертикальным разрешением сканирующей системы 0,01мкм.

Для анализа выбранной области поверхности с использованием лазерного микроскопического изображения достаточно сложно применять требования стандарта ИСО. Это связано с тем, что просматриваются очень малые поля зрения, а значит, базовая длина будет иметь малый предел. Вместе с тем для числовых значений высотных параметров установлены соответствующие базовые длины в таблице 5.

В программном обеспечении Olympus LEXT при расчете параметров шероховатости (волнистости) поверхности используется следующее допущение: базовая длина составляет 1/3 области от центра заданного поперечного сечения поля зрения. При увеличении 200^х поле зрения имеет размер 640Ч480 мкм, что явно недостаточно для измерения шероховатости покрытия, которое оценили величиной ~ 2,5 мкм.
Для увеличения базовой длины было выполнено последовательное соединение нескольких полей зрения при заданном увеличении с помощью специального режима мозаики, предусмотренного программным обеспечением микроскопа. Соединив четыре поля зрения при увеличении 200^х, мы получили изображение задней поверхности режущей кромки одного из зубьев модульной фрезы. Таким образом, оценка R_a происходила на базовой длине 0,85 мм, что соответствует стандарту.
Для установления R_a на полученной мозаике произвольно выбирали продольное сечение параллельное режущей кромки и тем самым получали необходимый профиль, на котором рассчитывался высотный параметр по формуле (2) при числе выбранных точек профиля на базовой длине n =1024. Среднее значение R_a полученное из 15-ти сечений с надежность 95% составило 2,6 ± 0,3 мкм.

Рис. 5. Изображение участка поверхности вдоль передней поверхности твердосплавной мелкомодульной червячной фрезы, полученное в мозаичном режиме 3D-сканирования на лазерном микроскопе Olympus LEXT.

Рис. 6. Топография участка поверхности вдоль передней поверхности твердосплавной мелкомодульной червячной фрезы (задняя поверхность). 3D – изображение, полученное после сканирования на лазерном микроскопе Olympus LEXT.

Из анализа приведенных данных видно, что в поверхностном слое отсутствуют микродефекты, в виде микротрещин после электроэрозионной обработки, как в впадине зуба так и в вершине зуба.
На поверхности просматриваются участки тонкого слоя со структурой отличной от основы толщиной порядка от 5 до 20 мкм, которая меняется по толщине. Этот слой по толщине укладывается в припуск на последующую обработку шлифованием, поэтому он не представляет опасности с точки зрения изменения свойств.
Оценка изменения свойств поверхностного слоя после электроэрозионной обработки проводилась путем измерения микротвердости с небольшой нагрузкой 50 гр = 0,5 Н с помощью приставки к микроскопу Polyvar Met – Microduramat – 4000.
На основании полученных данных, микротвердость практически не меняется по глубине, также микротвердость не меняется ни на вершине, ни на сердцевине. Это косвенно свидетельствует об отсутствии структурных изменений и значимых изменений химического состава при электроэрозионной обработке.