Статьи по ключевому слову «Bosch-process»

Статьи в журнале «Современная техника и технологии»

Запевалин А.И. Эффект запаздывания в плазмохимическом травлении кремния
Июнь, 2014 Запевалин А.И. Обзор высоко-аспектных процессов травления кремния
Июнь, 2014