Электронный научно-практический журнал «Современная техника и технологии»
ISSN 2225-644X
Русский
English
Авторам
Опубликовать свою статью
О журнале
О журнале
Контакты
Архив номеров
Поиск
Статьи по ключевому слову «Bosch-процесс»
Статьи в журнале «Современная техника и технологии»
Запевалин А.И. Эффект запаздывания в плазмохимическом травлении кремния
№ 6 Июнь 2014
Запевалин А.И. Обзор высоко-аспектных процессов травления кремния
№ 6 Июнь 2014