ISSN 2225-644X
18+
Русский
English
Электронный научно-практический журнал «Современная техника и технологии»
Авторам
Опубликовать свою статью
О журнале
О журнале
Контактная информация
Архив номеров
Языки публикаций
Поиск
Отзывы о проекте
Статьи по ключевому слову «DRIE»
Статьи в журнале «Современная техника и технологии»
Запевалин А.И. Обзор высоко-аспектных процессов травления кремния
№ 6 Июнь 2014