Статьи по ключевому слову «очистка»
Статьи в журнале «Современная техника и технологии»
Сычикова Я.А. Разработка технологического маршрута очистки полупроводниковых пластин для микроэлектронных изделийЯнварь, 2015 Андреев Л.Н., Петров А.М. Перспективы развития электрофильтрации воздушных сред
Март, 2017