Автор: Александр Запевалин

ФИО автора: Запевалин Александр

Сайт автора: http://vk.com/id7667329

Запевалин А.И. Эффект запаздывания в плазмохимическом травлении кремния
Июнь, 2014

Запевалин А.И. Обзор высоко-аспектных процессов травления кремния
Июнь, 2014