Author's name: Сычикова Яна

Information about author:
Кандидат физико-математических наук, доцент кафедры методики преподавания физико-математических дисциплин и информационных технологий в обучении Бердянского государственного педагогического университета, заместитель декана факультета физико-математического и технологического образования БДПУ

Development of technological route cleaning semiconductor wafers for microelectronic products
January, 2015