Статьи по ключевому слову «Реактивно-ионное травление»

Статьи в журнале «Современная техника и технологии»

Запевалин А.И. Обзор высоко-аспектных процессов травления кремния
Июнь, 2014

Статьи в журнале «Современные научные исследования и инновации»