Статьи по ключевому слову «RIE»

Статьи в журнале «Современная техника и технологии»

Запевалин А.И. Обзор высоко-аспектных процессов травления кремния

№ 6 Июнь 2014

Статьи в журнале «Современные научные исследования и инновации»

Запевалин А.И. Обзор газовой химии используемой для плазмохимического травления Si, SiO2 и Si3N4

Июнь, 2014