Articles by keyword «RIE»

Articles in journal «Modern technics and technologies»

Обзор высоко-аспектных процессов травления кремния

№ 6 June 2014

Articles in journal «Modern Scientific Researches and Innovations»

Zapevalin A.I. Overview of gas-phase chemistry used for plasma chemical etching Si, SiO2 and Si3N4.

June, 2014