Статьи по ключевому слову «тонкопленочный»
Статьи в журнале «Современная техника и технологии»
Васильев В.А., Юлоськов Р.В. Исследование возможности повышения чувствительности тонкопленочного тензорузисторного датчика давления в виде мембраны с жестким центромМай, 2017